場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU5000產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、二次電子分辨率：2.0nm at 1kv

2、高效PD-BSD，的低加速電壓性能，低至100V成像

3、大束流（＞200nA）便于高效微區(qū)分析

4、具有優(yōu)異的低真空（10-300Pa）成像性能，配備高靈敏度低真空探測(cè)器（UVD）

5、開倉(cāng)式快速簡(jiǎn)單換樣（Z大樣品尺寸：ф200mm*80mmH）

6、微區(qū)分析：EDS，WDS，EBSD等

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