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INFICON BPG400 B-A型皮拉尼真空計(jì) 353-502

INFICON B-A型皮拉尼復(fù)合真空計(jì), BPG400, 兩個(gè)真空計(jì)復(fù)合在一個(gè)小型單元中測(cè)量范圍從 5 x 10-10 毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-10 乇至大氣壓). 復(fù)合技術(shù)降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性. 選 BPG400 用于可及的和可再現(xiàn)的過程, 在一個(gè)經(jīng)濟(jì)的真空計(jì)組件中執(zhí)行基本的壓強(qiáng)測(cè)量.

優(yōu)勢(shì)：

極寬的測(cè)量范圍從 5 x 10-10 毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-10 乇至大氣壓)

過程壓強(qiáng)范圍從 10-8 … 10-2 毫巴,再現(xiàn)性 5%

皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù) B-A型系統(tǒng)防止燈絲過早燒毀和來自高壓強(qiáng)運(yùn)行的過度污染

長壽命的涂敷氧化釔的銥燈絲

可選圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線接口

自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)整減少操作人員的干預(yù)

RoHS 兼容性

用途：

在半導(dǎo)體過程和傳送室中的壓強(qiáng)測(cè)量

工業(yè)鍍膜

在低至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

技術(shù)規(guī)格

型號(hào) 燈絲	BPG400 單-涂銥氧化釔燈絲	BPG402-S 雙-涂銥氧化釔燈絲	BCG450 涂銥氧化釔燈絲/電容薄膜
測(cè)量范圍	5 × 10E-10至1000 mabr		5 × 10E-10至1500 mabr
精度（N2） 10E-8至10-2mbar（BPG400/BPG402-S） 10E-8至50mbar（僅BCG450） 50至950 mbar（僅BCG450） 950至1050 mbar（僅BCG450）	±15%讀數(shù)		±15%讀數(shù) ±5%讀數(shù) ±2%讀數(shù)
重復(fù)性 10E-8至10-2mbar	±5%讀數(shù)
除氣 P＜7.2 × 10E-6mbar	電子轟擊,至多3分鐘
輸出信號(hào)	電壓范圍：0至+10V模擬；可選RS485，Profibus-DP，DevicenNet
電源電壓直流/安培	+20至+28Vdc 0.8A
電氣連接件	D-sub 15針；Profibus-DP/RS485（D-sub 9針+15針）；DeviceNet標(biāo)準(zhǔn)接頭
工作溫度	+0至+50℃
烘烤溫度（未工作）法蘭處延伸件移除電子部分	80℃ 150℃ 150℃
防護(hù)等級(jí)	IP30