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快速退火爐

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更新時(shí)間：2022-11-06 15:18:28瀏覽次數(shù)：195次

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

簡單介紹： RTP快速退火爐的主要特點(diǎn)有：可在真空/不同氣氛/空氣不同環(huán)境下，對樣品進(jìn)行快速熱處理；控溫精度高；適合高等院?；蜓芯繖C(jī)構(gòu)科研使用；主動(dòng)式水循環(huán)冷卻模式；立式設(shè)計(jì)；儀器采用觸摸屏技術(shù)：操作方便，裝取樣片簡單高效；價(jià)格合理，高性價(jià)比。

詳細(xì)介紹

詳情介紹：

RTP快速退火爐的主要技術(shù)參數(shù)如下
加熱元件：鹵素電極；

電極數(shù)量：12支；
整機(jī)功率：7.2KW；
升溫速率：200℃/Second；
降溫速率：30秒(1000℃ → 400℃)；
*高溫度：1100℃；
溫度精度：+/- 1℃；
*大樣品尺寸：4英寸；
氣氛環(huán)境：真空、氣體（氮?dú)?、氬氣、氧氣）、空氣?br> 真空系統(tǒng)：可根據(jù)實(shí)際需要選配無油機(jī)型泵或者分子泵

應(yīng)用領(lǐng)域：
-快速熱退火
- 快速熱氧化
- 快速熱氮化
- 硅化
- 擴(kuò)散
- 化合物半導(dǎo)體退火
- 離子注入后退火
- 電極合金化
- 晶向化和堅(jiān)化
- 合金熔點(diǎn)分析;
- 薄膜沉積; 等等…

欲了解更多關(guān)于RTP快速退火爐的詳情可致電：138

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