原 料 氣：空氣、氫氣、氧氣、氮?dú)狻鍤獾葰怏w，露點(diǎn)≤－40℃。

凈化后質(zhì)量指標(biāo)：經(jīng)脫水干燥、露點(diǎn)≤－ 70℃，或根據(jù)用戶具體情況而定，經(jīng)后級(jí)凈化，可脫除空氣中硫化物、鹵化物、碳?xì)涞鹊入s質(zhì)，使空氣達(dá)到潔凈要求。

操 作 壓 力：輸入≥ 0.8MPa（ 壓力愈高愈好 ） ，輸出壓力略低于輸入壓力

處 理 氣 量：1—1000Nm 3 /h

適應(yīng)范圍：實(shí)驗(yàn)室氣體分析、載氣、標(biāo)準(zhǔn)氣/混合氣配氣、半導(dǎo)體材料生產(chǎn)、有色金屬加工、精細(xì)化工。