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英福康Transpector XPR3 氣體分析系統(tǒng),高壓強型四極質(zhì)譜儀

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產(chǎn)品型號Transpector XPR3

品牌

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更新時間：2024-02-15 07:25:30瀏覽次數(shù)：73次

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產(chǎn)品簡介

詳細介紹

Transpector XPR3 氣體分析系統(tǒng)

無需復雜壓力轉換的 PVD 過程監(jiān)控

Transpector XPR3 提供的 RGA 過程監(jiān)控功能可以為您提供有關污染級別、除氣級別、氣體純度和設備操作等方面的實時數(shù)據(jù)。用戶可以根據(jù)此信息檢測和診斷問題，從而*大化吞吐量和產(chǎn)量，也可以根據(jù)此信息制定更有效的預防性維護計劃，從而延長工具運行時間。

Transpector XPR3 是新一代氣體分析系統(tǒng)，可用于基于四極桿的高壓過程氣體分析。它借鑒了之前 INFICON 系統(tǒng)的成功經(jīng)驗，具有****的靈敏度、準確性和靈活性，可以監(jiān)控氣相沉積 (PVD) 過程。Transpector XPR3 取得了一系列技術上的突破，無需大型、復雜的壓力轉換設備，即可在 20 mTorr 至超高真空范圍內(nèi)操作。

功能

經(jīng)過重新設計的離子源*大限度減少污染積存，可延長使用壽命，提供更純凈的信號。
新 EM 在 PVD 過程壓力下工作，可實現(xiàn)更快速、更純凈的數(shù)據(jù)收集，消除 FC 向 EM 過度的必要，更便于數(shù)據(jù)分析。
更長的新型四極桿提高了低質(zhì)量范圍下的濾波性能，增強了豐度靈敏度，從而提高了氫氣檢測靈敏度。