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西安莫吉娜儀器制造有限公司
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更新時(shí)間：2023-03-18 09:02:19瀏覽次數(shù)：375次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)RTP快速升降溫退火爐的詳細(xì)介紹RTP快速升降溫退火爐MXG1200-100-SL-RTP開啟式RTP快速升降溫退火爐，是由我公司自主研發(fā)的高性能熱處理設(shè)備
| RTP快速升降溫退火爐 MXG1200-100-SL-RTP | ||
| 開啟式RTP快速升降溫退火爐，是由我公司自主研發(fā)的高性能熱處理設(shè)備。本產(chǎn)品采用制造工藝，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體上下兩半設(shè)計(jì)，可自由打開閉合，***可靠，爐管外徑100mm，爐膛采用高純氧化鋁纖維材料真空吸附成型，表面涂有高反射率高溫保護(hù)涂層，既能降低熱量損耗，還能提高爐內(nèi)溫度穩(wěn)定性。試驗(yàn)樣品放置于密封的石英管內(nèi)，內(nèi)部潔凈度高，可降低間接污染的可能。已廣泛用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及等領(lǐng)域，該系統(tǒng)可滿足離子注入后的快速退火，也可用于歐姆接觸快速合金，還可用于硅化物合金退火，氧化物生長(zhǎng)，以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場(chǎng)合。本產(chǎn)品采用紅外加熱，升溫速度快達(dá)30℃/S，爐體下部配有軌道，可左右移動(dòng)至底部風(fēng)扇處，以達(dá)到快速冷卻的目的。 | ||
| 技術(shù)參數(shù) | ||
| 項(xiàng)目 | 主要技術(shù)指標(biāo) | 數(shù)據(jù) |
| 規(guī)格型號(hào) | MXG1200-100-SL-RTP | |
| 溫度控制 | 溫度點(diǎn) | 1200℃ |
| 額定溫度 | 1100℃ | |
| 穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍 | 200-1050℃ | |
| 溫度測(cè)量精度 | ±0.2℃ | |
| 溫度控制重復(fù)性 | ±1℃ | |
| 溫度控制**度 | ±1℃ | |
| 溫度均勻性 | ±2℃ | |
| 溫度狀態(tài)工藝時(shí)間 | 7-32 S（200-1050℃） | |
| 快升溫速率 | 30℃/S（可按需定制） | |
| 降溫速率 | 1-200℃（將試樣移出加熱區(qū)域或通氮?dú)饪杉涌旖禍兀?/td> | |
| 溫度控制模式 | 智能模糊PID全閉環(huán)控制 | |
| 觸摸屏 | 尺寸 | 7寸LCD 工控 |
| 物理指標(biāo) | 功率 | 18 Kw |
| 額定電壓 | AC380V，50/60Hz | |
| 測(cè)溫元件型號(hào) | K型熱電偶 | |
| 石英管規(guī)格 | Φ100*1500 | |
| 真空度 | 選配分子泵真空度可達(dá)4*10-3Pa | |
| 抽氣端口尺寸 | KF25或Φ6mm | |
| 進(jìn)氣端口尺寸 | Φ6mm | |
| 冷卻方式 | 自然冷卻或強(qiáng)迫風(fēng)冷N2或壓縮空氣：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2） | |
| 外形尺寸 | 深500*寬1520*高620 | |
| 設(shè)備重量 | 80Kg | |
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