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西安晨星傳感技術(shù)有限公司
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更新時(shí)間：2023-02-07 16:46:50瀏覽次數(shù)：137次
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產(chǎn)品描述SE206是半橋壓阻式傳感器芯片，具有高達(dá)150的靈敏系數(shù)，是專(zhuān)門(mén)為低至幾十個(gè)微應(yīng)變的微小應(yīng)變測(cè)量而設(shè)計(jì)的
產(chǎn)品描述
SE206是半橋壓阻式傳感器芯片，具有高達(dá)150 的靈敏系數(shù)，是專(zhuān)門(mén)為低至幾十個(gè)微應(yīng)變的微小應(yīng)變測(cè)量而設(shè)計(jì)的。其典型應(yīng)用是把兩個(gè) SE206 粘貼在由不銹鋼或陶瓷制成的圓形壓力膜片上，形成惠斯登電橋來(lái)測(cè)量壓力。粘貼此傳感器芯片的典型方法是通過(guò)玻璃微熔工藝把芯片燒結(jié)在膜片上。
SE206 傳感器芯片的兩個(gè)壓阻式電阻相互串聯(lián)，類(lèi)似于 BCM的金屬箔應(yīng)變計(jì)GB(BL)的結(jié)構(gòu)。因此，該傳感器芯片還可用于測(cè)量力，例如，通過(guò)把其粘合在反向彎曲梁上用來(lái)測(cè)量壓縮力或拉伸力。
由于此傳感器芯片是基于MEMS 工藝制造而成，SE206傳感器芯片尺寸小 (1.5mm x 0.5mm)，可實(shí)現(xiàn)大批量生產(chǎn)。
包裝前，每個(gè) SE206 傳感器芯片都經(jīng)過(guò)單獨(dú)測(cè)試并符合其規(guī)格。
技術(shù)參數(shù)
| 參數(shù)名稱(chēng) | 單位 | 技術(shù)指標(biāo) | 注釋 | |
| 測(cè)量應(yīng)變范圍 | με | 15~500 | | |
| 工作應(yīng)變 | %fs | 150 | 1 | |
| 應(yīng)變極限 | %fs | 200 | 1 | |
| 電阻值 | KΩ | 4±1 | ||
| 兩個(gè)電阻間的阻值差 | %R | ≤±1.5 | ||
| 靈敏系數(shù)(GF) | | 150 | ||
| 激勵(lì) | 電壓 | Vdc | 5(典型值)，或 2，...10Vdc范圍內(nèi)的任何電壓值 | |
| 電流 | mA | 1(典型值),或 0.5，...2.5mA范圍內(nèi)的任何電流值 | ||
| 零點(diǎn)輸出 | mV/V | ≤±15 | ||
| 非線性誤差(NL) | %fs | ≤±0.5 | 2 & 3 | |
| 遲滯性誤差(HY) | %fs | ≤±0.2 | ||
| 重復(fù)性誤差(RP) | %fs | ≤±0.2 | ||
| 長(zhǎng)期穩(wěn)定性 | %fs/年 | ≤±0.2 | ||
| 儲(chǔ)存溫度范圍 | °C | -40~ +150 | ||
| 工作溫度范圍 | °C | -40~ +150 | ||
| 橋阻溫漂系數(shù) | %R/°C | ≤0.35 | 4 | |
| 零點(diǎn)溫漂系數(shù) | %fso/°C | ≤±0.5 | 5 | |
| 靈敏度溫漂系數(shù) | %fso/°C | ≤|-0.4| | 5 | |
| 零點(diǎn)熱遲滯 | %fso/°C | ≤±0.3 | | |
| 電氣接口 | | 裸焊盤(pán) | | |
| 尺寸 | mm | 1.6x0.5x0.01 | | |
測(cè)量的一般條件：溫度=25°C，濕度=40%RH。
1. fs指應(yīng)變的滿(mǎn)量程。
2. 在15~500με范圍內(nèi)的應(yīng)變條件下進(jìn)行測(cè)試。
3. 根據(jù)終端基線計(jì)算（端終點(diǎn)法）。
4. 以25℃時(shí)的阻值為參考，根據(jù)計(jì)算-40°C到+150°C之間的電阻變化率，并按25°C時(shí)的電阻歸一化。
5. 以25℃時(shí)的輸出為參考，計(jì)算根據(jù)-40°C到+150°C之間的輸出變化率，并按25°C時(shí)的輸出歸一化，此時(shí)芯片沒(méi)有做溫度補(bǔ)償。
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