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半導(dǎo)體超純水設(shè)備

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時(shí)間:2024-01-01 10:04:07瀏覽次數(shù):112次

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產(chǎn)品簡介

詳細(xì)介紹一、技術(shù)要求產(chǎn)水壓力:0

詳細(xì)介紹

詳細(xì)介紹

圖片4.png

一、技術(shù)要求

產(chǎn)水壓力:0.4MPa

產(chǎn)水水質(zhì):按ASTM D5127-2013 E-1.1級(jí)的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

                           產(chǎn)水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

序號(hào)

名  稱

單  位

數(shù)據(jù)

備注

1

電阻率(25℃

MΩ.CM

182


2

TOC

μg/L

2


3

溶解氧

μg/L

10


4

蒸發(fā)殘?jiān)?/span>

μg/L

0.5


5

在線顆粒/升(微米)




6

0.050.1

個(gè)

1000

在線監(jiān)測(cè)

7

0.10.2

個(gè)

350

在線監(jiān)測(cè)

8

0.20.5

個(gè)

100

在線監(jiān)測(cè)

9

0.51.0

個(gè)

50

在線監(jiān)測(cè)

10

1.0

個(gè)

20

在線監(jiān)測(cè)

11

SEM顆粒檢測(cè)/升(微米)




12

0.10.2

個(gè)

700


13

0.20.5

個(gè)

400


14

0.51.0

個(gè)

50


15

10

個(gè)

30


16

細(xì)菌/100mL




17

100mL取樣

個(gè)

3


18

總硅

μg/L

3


19

溶解硅

μg/L

1


 

運(yùn)行要求:年連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)8000小時(shí)

管閥材質(zhì):采用進(jìn)口PVDF超純型管道閥門,熱熔對(duì)焊。

 

二、產(chǎn)品性分析

 

設(shè)備回收率:EDI裝置回收率≥90%EDI濃水全部回流至廠區(qū)除鹽水系統(tǒng)原水箱。

設(shè)備控制:采用PLC+上位機(jī)全自動(dòng)運(yùn)行方式,同時(shí)可手動(dòng)運(yùn)行,系統(tǒng)帶自檢功能,聲光報(bào)警。系統(tǒng)運(yùn)行參數(shù)可存儲(chǔ),可打印。正常運(yùn)行為自動(dòng),檢修為手動(dòng),可實(shí)現(xiàn)無人值守。系統(tǒng)運(yùn)行實(shí)況可于在線流程模擬屏上實(shí)時(shí)顯示,如水箱液位的具體高度,增壓泵出口壓力,產(chǎn)水流量,EDI產(chǎn)水電阻率,產(chǎn)水流量,拋光混床產(chǎn)水電阻率、產(chǎn)水流量以及終端產(chǎn)水電阻率、在線監(jiān)測(cè)微粒數(shù)等參數(shù)。

供水方式:超純水系統(tǒng)供水采用不間斷循環(huán)供水方式,回路設(shè)計(jì)背壓閥保持循環(huán)量。

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