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HPG400 大氣壓至高真空真空計

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品       牌

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更新時間:2023-05-12 14:07:38瀏覽次數(shù):175次

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商鋪產(chǎn)品:16條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

益處HPG400可節(jié)省成本和工具空間

詳細(xì)介紹

益處

  • HPG400 可節(jié)省成本和工具空間,降低真空系統(tǒng)安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
  • 高壓熱電離真空計可以準(zhǔn)確可靠地測量 1×10-5 … 1 毫巴范圍內(nèi)的壓力,進(jìn)而改善過程控制
  • 用戶可選的熱離子發(fā)射在 5×10-2 至 1 毫巴之間啟動
  • 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱絲,防止過早燒毀
  • 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
  • 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié),減少操作員干預(yù)
  • RoHS 合規(guī)

典型應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體制造、電子和媒介產(chǎn)業(yè)中的濺射應(yīng)用
  • 工業(yè)鍍膜
  • 低真空和高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制


    規(guī)格

    類型

    HPG400

    測量范圍(空氣,N2

    2×10-6 … 1000

    精度

     

    10-5 … 毫巴

    % of reading

    ±15 (1)

    可重復(fù)性

     

    10-5 … 10-1 毫巴

    % of reading

    2

    10-1 … 100 毫巴

    % of reading

    30

    熱離子發(fā)射,可選:

     

    選購件 1

    mbar

    1

    選購件 2

    mbar

    5×10-1

    選購件 3

    mbar

    2×10-1

    選購件 4

    mbar

    1×10-1

    選購件 5

    mbar

    5×10-2

    壓力,更大

    bar (absolute)

    2

    溫度

     

    運(yùn)行(環(huán)境)

    °C

    … +50

    貯存

    °C

    -20 … +70

    在法蘭處烘烤

    °C

    80

    移除烘烤電子設(shè)備

    °C

    150

    電源電壓

    20 … 28

    輸出信號模擬

     

    輸出信號

    V

    … +10.2

    測量范圍熱陰極

    V

    1.5 … 7.5

    測量范圍皮拉尼

    V

    8.5 … 9.75

    電壓比壓強(qiáng)熱陰極

    volts per decade

    1

    電壓與壓強(qiáng)皮拉尼

    volts per decade

    0.25

    錯誤信號熱陰極

    V

    0.3

    錯誤信號皮拉尼

    V

    0.5

    更小負(fù)載電阻

    k

    10

    接口(數(shù)字)(2)

    RS232C

    電氣連接

    D-Sub, 15-pin, male

    電纜長度,更大 (3)

    m (ft.)

    100 (330)

    暴露于真空的材料

    Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

    內(nèi)部容積 KF / CF

    cm(in.3)

    20 (1.2) / 30 (1.8)

    重量 KF / CF

    g

    430 / 695

    保護(hù)等級

    IP30

    DeviceNet

     

    協(xié)議

    DeviceNet, group 2 slave only

    數(shù)據(jù)率開關(guān)

    kBaud

    125, 250, 500 or network programmable

    電纜長度 125 kbps

    m (ft.)

    500 (1650)

    電纜長度 250 kbps

    m (ft.)

    250 (825)

    電纜長度 500 kbps

    m (ft.)

    100 (330)

    MAC ID

    2 switches (address 00 - 63) or network programmable

    網(wǎng)絡(luò)規(guī)模

    up to 64 nodes per segment

    數(shù)字功能

    read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

    模擬功能

    … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

    可視通信指示器

    LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)

    技術(shù)規(guī)格

    DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

    設(shè)備類型

    ''CG'' for combination gauge

    I / O 從屬傳訊

    polling only

    設(shè)定點繼電器: 設(shè)定點數(shù)量

    2

    設(shè)定點繼電器: 范圍

    mbar

    2×10-6 … 100

    設(shè)定點繼電器: 繼電器觸點

    n.o., potential free

    設(shè)定點繼電器: 滯后

    % of reading

    10

    設(shè)定點繼電器: 觸點額定值

    60

    DeviceNet™ 電源電壓

    11 … 25 

    真空計電源電壓

    V (dc)

    20 … 28

    DeviceNet™ 連接器

    Microstyle, 5-pin

    HPG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點)連接器

    D-Sub, 15-pin, male

    Profibus DP

     

    波特率

    9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

    地址

    2 switches (address 00 - 127) or network programmable

    數(shù)字功能

    read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

    模擬功能

    … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

    設(shè)定點繼電器: 設(shè)定點數(shù)量

    2

    設(shè)定點繼電器: 范圍

    mbar

    2×10-6 … 100

    設(shè)定點繼電器: 繼電器觸點

    n.o., potential free

    設(shè)定點繼電器: 滯后

    % of reading

    10

    設(shè)定點繼電器: 觸點額定值

    60

    Profibus DP 連接器

    D-Sub, 9-pin, female

    HPG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點)連接器

    D-Sub, 15-pin, male

    (1) 精度從 10-5 毫巴至所選熱離子排放值

    (2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允許使用現(xiàn)場總線

    (3) 適用于 RS232C 運(yùn)行 <30m

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